ФСМ 1201П

Фурье-спектрометр инфракрасный специализированный для измерения параметров полупроводниковых пластин и структур /разрешение 1 см-1, двухкоординатный измерительный стол для пластин диаметром до 200 мм/, включая интерфейсную плату и базовое программное обеспечение для определения концентрации углерода замещения, междоузельного кислорода, толщины эпитаксиального слоя